1.電容式傳感器特色

電容式傳感器是把被丈量空壓機(jī)的位移、速率等參數(shù)變換為電 容變化的一種傳感器。

它本質(zhì)上是有一個(gè)可變參數(shù)的電容器。依據(jù)電容器參數(shù)變化的特征、電容式傳感器可分為極距 變化型、面積變化型和介質(zhì)變化型三類。在現(xiàn)實(shí)利用中，極 距變化型與面積變化型利用較廣。

2.極距變化型電容式傳感器

一個(gè)平板電容器,A、B為兩平行的 金屬極板，兩板間布滿了介電系數(shù)為e 的電介質(zhì)，每板的 面積為s,兩板間內(nèi)外貌之間的間隔為8,并設(shè)板面的線度 弘遠(yuǎn)于兩板內(nèi)外貌之間的間隔。

兩板間的場(chǎng)強(qiáng)為由敏捷度公式可以望出，敏捷度S與極距平方成反比, 即極距越小敏捷度越高。顯然，因?yàn)槊艚荻入S極距而變化， 這將引起非線性偏差。

為了減小這一偏差，凡是劃定電容式 傳感器在極小范疇內(nèi)事情,使之能得到近似線性關(guān)系。

在現(xiàn)實(shí)利用中，有時(shí)為了進(jìn)步傳感器的敏捷度和戰(zhàn)勝某 些外界前提(如電源電壓、環(huán)境溫度等) 的變化對(duì)丈量精度 的影響，常采取差動(dòng)型式。差動(dòng)型式由三塊極板構(gòu)成，外側(cè) 兩個(gè)極板被固定,中間一塊是可動(dòng)的。

它的長(zhǎng)處是敏捷度比雙板的高1倍,而且不亂性較好。 極距變化型電容式傳感器除敏捷度高處，還具動(dòng)態(tài)相應(yīng)快并 可入行非接觸丈量。為了包管電容傳感器的線性，所測(cè)位移 不克不及太年夜。故使用范疇受到必定的限定。

3.面積變化型電容式傳感器

轉(zhuǎn)變極板面積的電容式傳感器，一般常用的有角位移型 與線位移型兩種。如角位移型，當(dāng)動(dòng)板有一轉(zhuǎn) 角時(shí)，與定板之間彼此籠蓋面積就變化,從而導(dǎo)致電容量的 變化。

即輸出與輸進(jìn)為線性關(guān)系，平面線位移型電容傳感器，當(dāng)動(dòng)板沿X方 向移動(dòng)時(shí),籠蓋面積變化，電容量也隨之變化。

電容量為面積變化型電容傳感器的長(zhǎng)處是輸出與輸進(jìn)呈線性關(guān) 系，但與極距變化型比擬，則有敏捷度較低的毛病，合用于 較年夜直線位移及角位移的丈量。